Ukrainian
Summary:Коротко викладено основи фізики і техніки вакуумно-дугових джерел плазми для осадження функціональних покриттів. Систематизовано результати досліджень в області формування потоків ерозійної плазми, яка генерується катодними плямами дугового розряду у вакуумі і газовому середовищі низького тиску. Розглянуто способи запалювання і стабілізації розряду в технологічних плазмових джерелах. Наведено дані про ерозії катода, її краплинної, парової та іонної складових, про зарядовий склад та енергетичний спектр іонного компонента, про його взаємодію з газовою мішенню. Розглянуто способи формування діаграми спрямованості плазмових потоків та механізми транспортування плазми в прямолінійних і криволінійних магнітоелектричних плазмоведучих каналах. Описано найбільш поширені фільтруючі системи для очищення плазми від макрочасток матеріалу еродуючого катода
Reading audience:Книга розрахована на наукових та інженерно-технічних працівників, початківців в освоєнні технології формування покриттів різного функціонального призначення вакуумно-дуговим методом, а також може стати корисною для викладачів, аспірантів і студентів старших курсів відповідних спеціальностей
Russian
Summary:Кратко изложены основы физики и техники вакуумно-дуговых источников плазмы для осаждения функциональных покрытий. Систематизированы результаты исследований в области формирования потоков эрозионной плазмы, которая генерируется катодными пятнами дугового разряда в вакууме и газовой среде низкого давления. Рассмотрены способы зажигания и стабилизации разряда в технологических плазменных источниках. Приведены данные об эрозии катода, ее капельной, паровой и ионной составляющих, о зарядовом составе и энергетическом спектре ионного компонента, о его взаимодействии с газовой мишенью. Рассмотрены способы формирования диаграммы направленности плазменных потоков и механизмы транспортировки плазмы в прямолинейных и криволинейных магнитоэлектрических плазмоведущих каналах. Описаны наиболее распространенные фильтрующие системы для очистки плазмы от макрочастиц материала эродирующего катода.
Reading audience:Книга рассчитана на научных и инженерно-технических работников, начинающих осваивать технологию формирования покрытий различного функционального назначения вакуумно-дуговым методом, а также может стать полезной для преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей