Аналізатор параметрів напівпровідників
Аналізатор параметрів напівпровідників Agilent 4156C
(Agilent Technologies, Сполучені Штати Америки)
Атомно-силові мікроскопи
Скануючий зондовий мікроскоп NanoScope IIIa Dimension 3000
(Digital Instruments, Сполучені Штати Америки)
Вимірювачі електронних параметрів
LCR-вимірювач (від 20 Гц до 1 Мгц) Agilent 4284А-001
(Agilent Technologies, Сполучені Штати Америки)
Дифрактометри
Високороздільний рентгенівський дифрактометр “X’Pert PRO MRD XL”
(PANalytical, Нідерланди)
Оптичні мікроскопи
Дослідницький мікроскоп Axioscop 2MAT
(Carl Zeiss, Німеччина)
Спектрометри
Універсальний раманівсько-люмінесцентний спектрометр Jobin Yvon T64000-nanotip
(Horiba Scientific, Франція)