українська
Анотація:Коротко викладено основи фізики та техніки вакуумно-дугових джерел плазми, яку очищено від макрочастинок — твердих та рідких фрагментів катодного матеріалу. Джерела призначені для осадження функціональних покриттів. Систематизовано результати досліджень у галузі формування потоків макрочастинок ерозійної плазми, що генеруються катодними плямами дугового розряду у вакуумі та газовому середовищі низького тиску. Розглянуто засоби заглушення емісії частинок у технологічних плазмових джерелах, формування діаграми спрямованості плазмових потоків і механізми транспортування плазми в прямолінійних та криволінійних магнітоелектричних плазмопровідних каналах.Розглянуто програмні засоби дослідження руху плазмових компонентів вздовж фільтрів, а також прогнозування й оптимізації робочих характеристик систем. Описано найбільш розповсюджені фільтрувальні системи для очищення плазми від макрочастинок.
Читацька аудиторія:Книгу розраховано на наукових та інженерно-технічних працівників, що починають освоювати технологію формування покриттів вакуумно-дуговим методом, а також може стати в нагоді для викладачів, аспірантів і студентів старших курсів відповідних спеціальностей.
російська
Анотація:Кратко изложены основы физики и техники вакуумно-дуговых источников плазмы, очищенной от макрочастиц — твёрдых и жидких фрагментов катодного материала. Источники предназначены для осаждения функциональных покрытий. Систематизированы результаты исследований в области формирования потоков макрочастиц эрозионной плазмы, которые генерируются катодными пятнами дугового разряда в вакууме и газовой среде низкого давления. Рассмотрены способы подавления эмиссии частиц в технологических плазменных источниках, формирования диаграммы направленности плазменных потоков и механизмы транспортировки плазмы в прямолинейных и криволинейных магнитоэлектрических плазмоведущих каналах.Рассмотрены программные способы исследования движения плазменных компонентов вдоль фильтров, а также прогнозирования и оптимизации рабочих характеристик систем. Описаны наиболее распространённые фильтрующие системы для очистки плазмы от макрочастиц.
Читацька аудиторія:Книга рассчитана на научных и инженерно-технических работников, начинающих осваивать технологию формирования покрытий вакуумно-дуговым методом, а также может стать полезной для преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.