Ukrainian
Summary:Викладені фізичні основи, класифікація та огляд основних методів сканівної зондової мікроскопії.Представлена авторська конструкціябагатофункціонального сканувального зондового мікроскопуз легованим бором алмазнимвістрям, якадозволяє виконувати сканування поверхні в режимі тунелюванняелектронів, контрольовану наноконтактну дію на поверхню, а також тунельну спектроскопію поверхні. Показані результати комбінованих нанотехнологічнихдосліджень,щовключають наноіндетуваннята нанодряпання поверхні. Приведені приклади нанотехнологічних операцій з наноочищення поверхні, формуванню регулярних поверхневих структур для наноелектронікитапристроївзберіганняінформації.
Reading audience:Для фахівців у галузі нанотехнологій, матеріалознавства, прикладної фізики, студентів та аспірантів відповідних спеціальностей, а також широкого кола читачів, що цікавляться сучасними напрямками науки та техніки.
Russian
Summary:Изложены физические основы, классификация и обзор основных методов сканирующей зондовой микроскопии. Представлена авторская конструкция многофункционального сканирующего зондового микроскопа с легированным бором алмазным острием, которая позволяет выполнять сканирование поверхности в режиме туннелирования электронов, контролируемое наноконтактное воздействие на поверхность, а также туннельную спектроскопию поверхности. Показаны результаты комбинированных нанотехнологических исследований, включающие наноиндитирование и наноцарапание поверхности. Приведены примеры нанотехнологических операций по наноочистке поверхности, формированию регулярных поверхностных структур для наноэлектроники и устройств хранения информации.
Reading audience:Для специалистов в области нанотехнологий, материаловедения, прикладной физики, студентов и аспирантов соответствующих специальностей, а также широкого круга читателей, интересующихся современными направлениями науки и техники.