Анотація українська
Монографія представляє собою огляд результатів досліджень властивостей плівок оксиду кремнію з вбудованими у них нановключеннями кремнію, а також технологічних підходів до оптимізації їх світловипромінювальних властивостей. Сучасні методи діагностики у мікроелектроніці розглянуто саме в аспекті їх адаптації до дослідження плівкових нанокомпозитів, виготовлених на основі кремнію. Окремо розглянуто можливі перспективні розробки наноелектронних приладів та пристроїв (світлодіодів, сонячних перетворювачів, елементів пам’яті), виготовлених з використанням кремнієвих плівкових нанокомпозитів. Значну частину викладеного матеріалу становлять оригінальні результати досліджень плівкових кремнієвих нанокомпозитів, отримані авторами монографії
Анотація російська
Монография представлявляет собой обзор результатов исследований свойств пленок оксида кремния со встроенными в них нановключениями кремния, а также технологических подходов к оптимизации их светоизлучающих свойств. Современные методы диагностики в микроэлектронике рассмотрены в аспекте их адаптации к исследованиям пленочных нанокомпозитов, изготовленных на основе кремния. Отдельно рассмотрены возможные перспективные разработки наноэлектронных приборов и устройств (светодиодов, солнечных преобразователей, элементов памяти), изготовленных с использованием кремниевых пленочных нанокомпозитов. Значительную часть изложенного материала представляют оригинальные результаты исследований пленочных кремниевых нанокомпозитов, полученные авторами монографии