Анотації та інше

У монографії узагальнено результати багаторічних досліджень за участі авторів та проаналізовано велику кількість літературних джерел щодо змін структури та фізико-хімічних властивостей металевих поверхонь після їх модифікації низькоенергетичним йонним опроміненням. Значну увагу приділено ефекту підвищення корозійної стійкості металів та сплавів внаслідок обробки прискореними йонами інертних газів з енергією до 3 кеВ. Розглянуто приклади застосування низькоенергетичної йонної обробки у сучасних тонкоплівкових технологіях. Продемонстровані можливості таких високороздільних методів дослідження поверхні, як дифракція повільних електронів, плазмонна спектроскопія, мас-спектрометрія вторинних йонів. Проаналізовано особливості вторинної йонної емісії при бомбардуванні металевих поверхонь протонами.

The monograph summarizes the results of many years of research with the participation of the authors and analyzes a large number of literature sources on changes in the structure and physical and chemical properties of metal surfaces after their modification by low-energy ionic irradiation. Much attention is paid to the effect of increasing the corrosion resistance of metals and alloys due to the treatment of accelerated ions of inert gases with energy up to 3 keV. Examples of the application of low-energy ion processing in modern thin-film technologies are considered. Possibilities of such high-resolution methods of surface study as slow electron diffraction, plasmon spectroscopy, secondary ion mass spectrometry have been demonstrated. The peculiarities of secondary ion emission during bombardment of metal surfaces by protons are analyzed.

У монографії узагальнено результати багаторічних досліджень за участі авторів та проаналізовано велику кількість літературних джерел щодо змін структури та фізико-хімічних властивостей металевих поверхонь після їх модифікації низькоенергетичним йонним опроміненням. Значну увагу приділено ефекту підвищення корозійної стійкості металів та сплавів внаслідок обробки прискореними йонами інертних газів з енергією до 3 кеВ. Розглянуто приклади застосування низькоенергетичної йонної обробки у сучасних тонкоплівкових технологіях. Продемонстровані можливості таких високороздільних методів дослідження поверхні, як дифракція повільних електронів, плазмонна спектроскопія, мас-спектрометрія вторинних йонів. Проаналізовано особливості вторинної йонної емісії при бомбардуванні металевих поверхонь протонами.

The monograph summarizes the results of many years of research with the participation of the authors and analyzes a large number of literature sources on changes in the structure and physical and chemical properties of metal surfaces after their modification by low-energy ionic irradiation. Much attention is paid to the effect of increasing the corrosion resistance of metals and alloys due to the treatment of accelerated ions of inert gases with energy up to 3 keV. Examples of the application of low-energy ion processing in modern thin-film technologies are considered. Possibilities of such high-resolution methods of surface study as slow electron diffraction, plasmon spectroscopy, secondary ion mass spectrometry have been demonstrated. The peculiarities of secondary ion emission during bombardment of metal surfaces by protons are analyzed.