українська
Анотація:Монографія представляє собою огляд результатів досліджень властивостей плівок оксиду кремнію з вбудованими у них нановключеннями кремнію, а також технологічних підходів до оптимізації їх світловипромінювальних властивостей. Сучасні методи діагностики у мікроелектроніці розглянуто саме в аспекті їх адаптації до дослідження плівкових нанокомпозитів, виготовлених на основі кремнію. Окремо розглянуто можливі перспективні розробки наноелектронних приладів та пристроїв (світлодіодів, сонячних перетворювачів, елементів пам’яті), виготовлених з використанням кремнієвих плівкових нанокомпозитів. Значну частину викладеного матеріалу становлять оригінальні результати досліджень плівкових кремнієвих нанокомпозитів, отримані авторами монографії
російська
Анотація:Монография представлявляет собой обзор результатов исследований свойств пленок оксида кремния со встроенными в них нановключениями кремния, а также технологических подходов к оптимизации их светоизлучающих свойств. Современные методы диагностики в микроэлектронике рассмотрены в аспекте их адаптации к исследованиям пленочных нанокомпозитов, изготовленных на основе кремния. Отдельно рассмотрены возможные перспективные разработки наноэлектронных приборов и устройств (светодиодов, солнечных преобразователей, элементов памяти), изготовленных с использованием кремниевых пленочных нанокомпозитов. Значительную часть изложенного материала представляют оригинальные результаты исследований пленочных кремниевых нанокомпозитов, полученные авторами монографии