Інститут був створений наказом МЕП СРСР №486 від 05.09.1966 та іменувався "Київський науково-дослідний інститут мікроприладів". У 1992 році Інститут перейменовано у державне підприємство «Науково-дослідний інститут мікроприладів». Розпорядженням Кабінету Міністрів України від 11.03.2004 №140-р та спільним наказом Національної академії наук України і Міністерства промислової політики України від 24.03.2004 №98/135 державне підприємство «Науково-дослідний інститут мікроприладів» передано у відання Національної академії наук України та включено до складу Науково-технологічного комплексу «Інститут монокристалів» НАН України. Інститут був створений наказом МЕП СРСР №486 від 05.09.1966 та іменувався "Київський науково-дослідний інститут мікроприладів". У 1992 році Інститут перейменовано у державне підприємство «Науково-дослідний інститут мікроприладів». Розпорядженням Кабінету Міністрів України від 11.03.2004 №140-р та спільним наказом Національної академії наук України і Міністерства промислової політики України від 24.03.2004 №98/135 державне підприємство «Науково-дослідний інститут мікроприладів» передано у відання Національної академії наук України та включено до складу Науково-технологічного комплексу «Інститут монокристалів» НАН України.